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技术文献

荧月电子紫光灯珠用于曝光系统

:2021-10-21 08:00:00 

荧月电子产出一款波长为365nm的UV紫光灯珠,用于半导体和PCB制程曝光系统的紫外光源。UV紫光灯珠具有效率高、节能且寿命长等特点,在正向电流If为3A,正向电压Vf为4.6V的条件下,紫外输出功率为3.2W。同时,这款UV紫光灯珠结构非常紧凑,因此安装密度更高。 UV紫光灯珠还具有适用于半导体曝光的窄发光角。通常情况下,半导体制程为实现精准曝光,需要使用平行光。然而,由于UV紫光灯珠发光角比较宽(约120°),用于曝光所获的光量往往不足。因此,通过结合深度反射镜与高透光率透镜,该公司实现了小于或等于15°的发光角。

关键词:UV紫光灯珠,紫外光源,紫光灯珠

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